型號

CH600-190-P4m

CH600-190-P4

CH600-190-P2ED

溫控模塊

冷熱方式

液氮致冷，電阻加熱

溫控范圍

-190～600℃ *

溫度穩定性

±0.1℃ *

溫度分辨率

0.1℃

升降溫速率

0~50℃/min（可定點 / 程序段控溫）

溫控方式

PID

溫度傳感器

PT100

光學特性

光路

反射光路 *可升級為透射光路

視窗材質

石英玻璃 *

視窗尺寸

Φ25mm *

物鏡工作距離

8mm *

10mm *

12.5mm *

透光孔

默認無透光孔 *可升級透光孔

視窗除霜

負溫下吹氣除霜

電學特性

探針

磁吸式探針x4（鎢鋼鍍金），手動定位 *

固定式探針x4，手動定位 *

電控位移探針x2 *

探針接口

BNC接口x4 *

樣品臺面電位

默認電懸空 *可選電接地

結構特性

樣品臺尺寸

23×23mm *

樣品臺材質

銀質 *

外形尺寸

120×100×30mm *

160×150×30mm *

110×170×45mm *

樣品腔高度

7mm *

8.5mm *

10.5mm *

XYZ位移行程

\

\

±6mm

探針位移精度

\

\

5nm

腔室

氣密 *可升級真空

外殼冷卻

循環水

基本配置

微型探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干

探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干

電控探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、循環水系統x1（高溫配置）、連接管路若干

其他配置

電腦主機/安裝支架/真空系統/三同軸BNC/循環水系統/定制溫控軟件